真空泵的选型

         1.真空泵的工作压力应满足极限真空度和真空设备工作压力的要求。例如，真空镀膜需要1 10%的真空度，而真空泵滤芯的真空度应至少为510？通常泵的极限真空比真空设备的工作真空高出一半到一个数量级。

         2.正确选择隔膜真空泵的工作点。每个泵都有必要的工作压力边界，例如扩散泵为10~3~10~7 mm Hg。在宽压力范围内，泵的泵速随压力变化而变化，其固定工作压力限为510~4~510~6mm·h2-1·m-1·h-1·h-1.因此，泵的工作点应选择在该范围内，且不允许在mmhg下长时间工作。例如，钛升华泵可以工作在10-2 mmHg以下，但其工作压力应小于-5 mmHg。

真空泵在其工作压力下，应能排出真空设备过程中产生的所有气体。

         4.正确组装隔膜真空泵。由于真空泵具有选择性抽气功能，因此，有时一台泵的选择不能满足抽运要求，需要将多台真空泵组合在一起，以满足抽油要求。例如，钛泵对氢有很高的抽运率，但不能泵出，而溅射离子泵或双极非对称溅射离子泵对氩有一定的抽运速率，无油螺杆泵制造商，两者的结合，螺杆泵、真空装置都会有较好的真空度。

         6.了解所提取气体的组成、气体中是否含有可凝结的蒸气、是否有粉尘颗粒、是否有落下等。

         7.从化学泵排出的油蒸气对环境有何影响？如果不允许环境受到污染，则可以选择无油真空泵，通过"或者"将油蒸汽排放到外部。

         8.化学泵运行引起的振动是否对工艺和环境有影响。如工艺不允许，应选用非振动泵换一种说法，我们可以采取防振措施。

         9.化工泵的价格、运行和维护费用。

         水环式真空泵的选择

         一、泵类型的确定

         泵的类型主要取决于操作所需的气体、真空度或排气压力。

         泵送时应注意以下两个方面：

         1.要求尽可能工作在高效率区，即临界真空区或临界排气压区。

         2.避免接近最大真空或最大排气压力。在这个区域工作，不仅效率很低，而且工作很不稳定，容易振动和噪音。对于高真空的水环真空泵，常出现汽蚀现象。这一现象的明显表现是水环真空泵的噪声和振动。会导致泵体等部件损坏，使泵无法工作。

         根据上述原理，当泵所需的真空或气压不高时，可优先用于单级泵。如果真空度或排气压力较高，单级泵往往达不到或者要求，在真空度较高的情况下，泵仍需要大量的气体，即要求在较高的真空度下性能曲线较平坦，可以选用两级泵。如果真空度高于真空度，则可选择水环-大气水环真空泵或水环-副真空单元作为真空泵装置。

         如果只用作真空泵，最好选用单作用泵。由于单动泵结构简单，易于制造和维护，且在真空度高的情况下，抗汽蚀性能较好。

         如果只使用大容量压缩机，则更适合使用双作用泵。由于双作用泵的气量大、体积小、光线轻、烟气进入水真空泵，径向力可自动平衡，轴不易产生疲劳断裂，硬质合金产生真空泵，泵使用寿命长。

         二、根据系统所需的气量选择真空泵

         在对真空泵进行了初步选型后，应根据系统所需气体量来选择真空泵类型。